[发明专利]薄膜晶体管、其制作方法及应用其的主动矩阵显示面板无效
| 申请号： | 201210092692.8 | 申请日： | 2012-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN103367454A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 张惠喻;游明璋;韩西容;王文俊 | 申请（专利权）人： | 联胜(中国)科技有限公司;胜华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L23/552;H01L21/77 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 江耀纯 |
| 地址： | 523808 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜晶体管，设于一基板上。薄膜晶体管包括一栅极、一绝缘层、一金属氧化物半导体图案、一源极、一漏极以及一聚亚酰胺层。栅极设于基板上，且绝缘层覆盖于栅极上。源极与漏极设于绝缘层上。金属氧化物半导体图案设于基板上，且聚亚酰胺层覆盖于金属氧化物半导体图案上。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 制作方法 应用 主动 矩阵 显示 面板 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管，设于一基板上，且其特征在于，所述薄膜晶体管包括：一栅极，设于所述基板上；一绝缘层，覆盖在所述栅极上；一金属氧化物半导体图案，设于所述基板上；一源极与一漏极，设于所述绝缘层上；以及一聚亚酰胺层，覆盖在所述金属氧化物半导体图案上。
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