[发明专利]具有通过常温真空接合而接合的振动部的振动执行机构无效
申请号: | 201210094038.0 | 申请日: | 2012-03-29 |
公开(公告)号: | CN102738382A | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 桑野邦宏;刈谷智志 | 申请(专利权)人: | 株式会社尼康 |
主分类号: | H01L41/09 | 分类号: | H01L41/09;G02B7/04;G03B17/12;H01L41/22 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 陈伟;秦玉公 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种具有通过常温真空接合而接合的振动部的振动执行机构。振动体的特征在于,具有:电力机械能量转换元件;与该电力机械能量转换元件接合、通过该电力机械能量转换元件的变形而被驱动的弹性体,所述电力机械能量转换元件和所述弹性体通过金属结合而被接合。 | ||
搜索关键词: | 具有 通过 常温 真空 接合 振动 执行机构 | ||
【主权项】:
一种振动体,具有:电力机械能量转换元件;与该电力机械能量转换元件接合,通过该电力机械能量转换元件的变形而被驱动的弹性体,所述电力机械能量转换元件和所述弹性体通过金属结合而接合。
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