[发明专利]一种蓝宝石晶片的退火方法无效
| 申请号： | 201210097236.2 | 申请日： | 2012-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN102634850A | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 储耀卿;石剑舫;王善建;石晓鑫;朱文超 | 申请（专利权）人： | 江苏鑫和泰光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/20 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 路接洲 |
| 地址： | 213000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及蓝宝石衬底的退火工序，属于晶体材料的加工技术领域。本发明提供了一种用于高质量蓝宝石衬底的退火方法，在于切割、研磨或抛光后的蓝宝石晶片分阶段升温并且保温一段时间至900℃～1600℃，对蓝宝石晶片进行退火处理，以消除切割、研磨或抛光的加工应力，并在保温阶段旋转晶片，使整个晶片退火均匀，消除退火炉温度场不均的影响。采用该方法退火的晶片加工应力基本消除，整个晶片退火均匀，退火后的晶片翘曲度小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 晶片 退火 方法 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石晶片的退火方法，其特征在于包括以下步骤：(1)将蓝宝石晶片装入退火炉中，快速直接升温至低温度区域150℃～300℃，保温2～4小时，此阶段升温时间为1～2小时；(2)经过低温保温一段时间后，升温至中温区域600℃～800℃，保温5～10小时，此阶段升温时间为4～6小时；(3)经过中温保温一段时间后，升温至高温区域900℃～1600℃，保温10～20小时，此阶段保温时间为6～20小时。
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