[发明专利]非球面复制胶水辅助加工工艺及其装置有效

专利信息
申请号: 201210099379.7 申请日: 2012-04-06
公开(公告)号: CN103364852A 公开(公告)日: 2013-10-23
发明(设计)人: 李文旭;金春阳;欧跃;吉文婷;王庆平;卞龙飞 申请(专利权)人: 昆山西钛微电子科技有限公司
主分类号: G02B3/02 分类号: G02B3/02
代理公司: 昆山四方专利事务所 32212 代理人: 盛建德
地址: 215300 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种非球面复制胶水辅助加热工艺及其装置,其工艺原理是在一定温度范围内(温度未到胶水固化温度),胶水的流动性会随着胶水温度的升高而提升,其特点是针对室温下流动性不好的胶水材料,在其流经的工艺路径上进行辅助加热,使其温度得以提升并保持稳定在一定合适温度内,改善其流动性,从而满足了非球面复制工艺对胶水材料的流动性要求,符合常规非球面复制工艺的要求。本发明改进了晶圆级光学产品半导体生产工艺中的非球面复制工艺,使其能使用各类不同的胶水材料,这样在光学产品中各镜片材质在属性上可以高低搭配来缩短光路,平衡各类色差,提升光学产品的成像质量等品质,缩短胶水扩散时间,提高作业效率。
搜索关键词: 球面 复制 胶水 辅助 加工 工艺 及其 装置
【主权项】:
一种非球面复制胶水辅助加工工艺,包括将胶水流经一定的工艺路径滴加到圆片玻璃基材的中心位置处,完成滴胶,然后再用非球面模具对所述圆片玻璃基材进行压制,其特征在于:在所述胶水流经的工艺路径上采用辅助加热使胶水保持在某一设定的温度。
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