[发明专利]一种对准系统光阑板的调整机构有效
| 申请号： | 201210099944.X | 申请日： | 2012-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN103365123A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 袁永刚 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种对准系统光阑板的调整机构，包括：操作机台壳体；光阑板固定板，固定在所述操作机台壳体上；滑台固定板，固定在所述操作机台壳体上，XY滑台固定在所述滑台固定板上，滑台连接板安装在所述XY滑台上，所述XY滑台具有旋钮控制所述滑台连接板相对操作机台壳体在X、Y方向独立移动；Rz调节板，其上开有圆弧轨道孔并与所述滑台连接板上设置的导向销配合，所述Rz调节板能沿着导向销在自身的轨道中滑动，即所述Rz调节板能相对滑台连接板作Rz方向旋转；其中，所述光阑板固定板上固定有光阑板组件。本发明提出的对准系统光阑板的调整机构，能够实现光阑板的三自由度独立调节，提高了调节操作的方便和结构的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 对准 系统 光阑 调整 机构 | ||
【主权项】：
一种对准系统光阑板的调整机构，其特征在于，包括：操作机台壳体；光阑板固定板，固定在所述操作机台壳体上；滑台固定板，固定在所述操作机台壳体上，XY滑台固定在所述滑台固定板上，滑台连接板安装在所述XY滑台上，所述XY滑台具有旋钮控制所述滑台连接板相对操作机台壳体在X、Y方向独立移动；Rz调节板，其上开有圆弧轨道孔并与所述滑台连接板上设置的导向销配合，所述Rz调节板能沿着导向销在自身的轨道中滑动，即所述Rz调节板能相对滑台连接板作Rz方向旋转；其中，所述光阑板固定板上固定有光阑板组件。
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