[发明专利]一种籽晶夹持器无效
申请号: | 201210100151.5 | 申请日: | 2012-04-06 |
公开(公告)号: | CN103361716A | 公开(公告)日: | 2013-10-23 |
发明(设计)人: | 戴小林;吴志强;汪丽都;崔彬;姜舰;邓树军;王雅楠;朱秦发;叶松芳 | 申请(专利权)人: | 有研半导体材料股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人: | 郭佩兰 |
地址: | 100088 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种籽晶夹持器,包括夹持器上部和夹持器下部,该夹持器上部与夹持器下部之间为可拆卸连接,该夹持器下部内具有一个贯通上下的空腔,该夹持器下部的下端沿其内壁具有一个环形的凸台,该空腔内设有一弹簧。采用本发明的籽晶夹持器,在硅单晶生长过程中,可以避免发生籽晶断裂,延长了籽晶的使用寿命;大大提高了大直径硅单晶生产的安全性,适用于生长重量不超过600kg的大直径硅单晶。 | ||
搜索关键词: | 一种 籽晶 夹持 | ||
【主权项】:
一种籽晶夹持器,包括夹持器上部和夹持器下部,该夹持器上部与夹持器下部之间为可拆卸连接,该夹持器下部内具有一个贯通上下的空腔,其特征在于:该夹持器下部的下端沿其内壁具有一个环形的凸台,该空腔内设有一弹簧。
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