[发明专利]层压装置、载体板、层压加工系统和层压方法无效
申请号: | 201210101754.7 | 申请日: | 2010-08-09 |
公开(公告)号: | CN102627017A | 公开(公告)日: | 2012-08-08 |
发明(设计)人: | 冈崎静明 | 申请(专利权)人: | 北川精机株式会社 |
主分类号: | B32B37/10 | 分类号: | B32B37/10;H01L31/18 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种层压装置、载体板、层压加工系统和层压方法,该层压装置对叠层体加热压制而将该叠层体成形为层压构造体,该层压装置包括:隔膜;被所述隔膜分开的第一腔室和第二腔室;能够独立地控制所述第一腔室和第二腔室的内压的内压控制单元;和第一热盘,其设置于所述第一腔室,在该第一热盘与所述隔膜之间对叠层体进行压制成形,所述内压控制单元,在使所述第二腔室的内压比所述第一腔室的内压高而通过所述隔膜对叠层体进行压制成形时,不使所述第一腔室为真空,将所述第一腔室的内压控制在包含在所述叠层体中的填充材料的流出被抑制的规定的压力范围内。 | ||
搜索关键词: | 层压 装置 载体 加工 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种层压装置,其对叠层体加热压制而将该叠层体成形为层压构造体,该层压装置的特征在于,包括:隔膜;被所述隔膜分开的第一腔室和第二腔室;能够独立地控制所述第一腔室和第二腔室的内压的内压控制单元;和第一热盘,其设置于所述第一腔室,在该第一热盘与所述隔膜之间对叠层体进行压制成形,所述内压控制单元,在使所述第二腔室的内压比所述第一腔室的内压高而通过所述隔膜对叠层体进行压制成形时,不使所述第一腔室为真空,将所述第一腔室的内压控制在包含在所述叠层体中的填充材料的流出被抑制的规定的压力范围内。
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