[发明专利]一种晶体硅太阳电池扩散死层的去除方法有效
申请号: | 201210103013.2 | 申请日: | 2012-04-10 |
公开(公告)号: | CN102623568A | 公开(公告)日: | 2012-08-01 |
发明(设计)人: | 张为国;王栩生;章灵军 | 申请(专利权)人: | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯(中国)投资有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 陶海锋;陆金星 |
地址: | 215129 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种晶体硅太阳电池扩散死层的去除方法,包括如下步骤:(1)将扩散后的硅片表面丝网印刷一层腐蚀性浆料,然后烘干;(2)去除上述腐蚀性浆料;所述腐蚀性浆料包括如下组分:以质量计,季氨碱10~50%,松油醇10~40%,乙基纤维素10~50%;所述腐蚀性浆料的黏度为100~300Pa·s。本发明采用腐蚀性浆料的方法在扩散去磷硅玻璃后的硅片表面进行腐蚀,刻蚀掉一层硅表面,去除了扩散死层,减少了表面高浓度扩散层的复合,提高了短波响应;试验证明:采用本发明的方法,太阳电池的短路电流可以提升30~60mA,电池的光电效率可以提高0.1~0.2%。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体 太阳电池 扩散 去除 方法 | ||
【主权项】:
一种晶体硅太阳电池扩散死层的去除方法,其特征在于,包括如下步骤:(1) 将扩散后的硅片表面丝网印刷一层腐蚀性浆料,然后烘干;(2) 去除上述腐蚀性浆料;所述腐蚀性浆料包括如下组分:以质量计,季氨碱10~50%,松油醇10~40%,乙基纤维素10~50%;所述腐蚀性浆料的黏度为100~300 Pa·s。
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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