[发明专利]液晶显示面板阵列基板及其制造方法有效
| 申请号： | 201210103318.3 | 申请日： | 2012-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN102645807A | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 许民庆;高翔 | 申请（专利权）人： | 深超光电(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1362 | 分类号： | G02F1/1362;H01L27/02;H01L21/77 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种液晶显示面板阵列基板的金属布线及其制作方法，包括如下步骤，首先连续沉积多层金属膜，然后蚀刻该金属膜形成金属布线，使其具有倾斜侧边包含有一曝露面，接着采用氢气的等离子体处理该金属布线的倾斜侧边，然后再采用氮气的等离子体处理该倾斜侧边，在金属布线的曝露面形成氮化铝的薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 液晶显示 面板 阵列 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种液晶显示面板阵列基板的金属布线，为多层金属膜结构，所述的多层金属膜结构中至少包含一铝金属层具有一曝露面，所述的曝露面经过氢气及氮气的等离子体处理后，具有一氮化铝薄膜。
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