[发明专利]薄膜太阳能电池的绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法

摘要

本发明涉及一种薄膜太阳能电池的绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法，制备大面积均匀且低成本绒面TCO薄膜，属于薄膜太阳能电池技术领域。技术方案是：①在低于100℃条件下采用磁控溅射技术，在衬底上利用不同掺杂浓度的靶材沉积透明导电薄膜；②对制备的透明导电薄膜经先退火后化学湿法刻蚀处理或先化学湿法刻蚀后退火处理，形成绒面结构，获得适用于薄膜太阳能生产的绒面透明导电氧化物薄膜。本发明制备出具有良好陷光效果的大面积薄膜，可广泛应用于各种高效光电器件、平板显示器以及太阳能电池，尤其适合于薄膜太阳能电池的制备，可以提高太阳能电池的光电转换效率；本发明降低能耗的同时降低了对真空设备的要求，从而降低了制备成本。

主权项

一种薄膜太阳能电池的绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于：包含如下工艺步骤：①在低于100℃条件下采用磁控溅射技术，在衬底上利用不同掺杂浓度的靶材沉积透明导电薄膜；②对制备的透明导电薄膜经先退火后化学湿法刻蚀处理或先化学湿法刻蚀后退火处理，形成绒面结构；③经上述工艺步骤后获得适用于薄膜太阳能生产的绒面透明导电氧化物薄膜。