[发明专利]一种快速射频微机械开关无效
| 申请号： | 201210105187.2 | 申请日： | 2012-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN102623253A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 朱银芳;魏伟伟;毛旭;杨晋玲;杨富华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种快速射频微机械开关，包括复合悬臂梁、驱动下电极、射频传输线和高阻硅衬底，复合悬臂梁是由上下两层介质层和中间的金属层构成的三明治结构，该快速射频微机械开关采用inline排布，复合悬臂梁位于驱动下电极的正上方，平行于射频传输线；复合悬臂梁结构中的金属层作为驱动上电极，在开关导通时复合悬臂梁成为信号线的一部分；在复合悬臂梁的自由端形成金属接触头，在复合悬臂梁两侧有一对支撑小臂；三明治结构的复合悬臂梁通过锚点固定于射频传输线上。本发明在保持较低驱动电压的前提下实现了μs级的开关时间，通过调节三明治结构上下介质层的生长条件改善了应力问题，提高了开关的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 射频 微机 开关 | ||
【主权项】：
一种快速射频微机械开关，包括复合悬臂梁(1)、驱动下电极(4)、射频传输线(5)和高阻硅衬底(7)，其特征在于，复合悬臂梁(1)是由上下两层介质层和中间的金属层构成的三明治结构，该快速射频微机械开关采用inline排布，复合悬臂梁(1)位于驱动下电极(4)的正上方，平行于射频传输线(5)；复合悬臂梁结构(1)中的金属层作为驱动上电极，在开关导通时复合悬臂梁(1)成为信号线的一部分；在复合悬臂梁(1)的自由端形成金属接触头(2)，在复合悬臂梁(1)两侧有一对支撑小臂(10)；三明治结构的复合悬臂梁(1)通过锚点(3)固定于射频传输线(5)上。
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