[发明专利]飞秒激光薄膜微纳加工实时监测装置

摘要

本发明是一种飞秒激光薄膜微纳加工实时监测装置，该装置包括激光发生系统、外光路系统、PC机和三维移动平台；激光发生系统发出的激光经外光路系统聚焦在聚焦镜上；该装置还设有光谱聚焦镜、光纤探头、光谱仪、增强型CCD和时间延迟控制器；所述的光谱聚焦镜和光纤探头固定在三维移动平台上，光谱仪通过数据线与光纤探头连接，光谱仪还通过信号线与时间延迟控制器连接，时间延迟控制器通过信号线与飞秒激光器连接，飞秒激光器、增强型CCD、光闸和三维移动平台均通过信号线与PC机连接。本发明装置设备简单，操作简便，适用范围广，可实现薄膜微加工的快速检测，它探测元素准确度很高，几乎可以检测任何元素，大大提高了检测效率和可靠性。

主权项

一种飞秒激光薄膜微纳加工实时监测装置，该装置包括激光发生系统、外光路系统、PC机和三维移动平台；所述的激光发生系统依次由泵浦源、飞秒激光器和再生放大器组成；所述的外光路系统依次由全反镜、光闸、衰减镜、半透半反镜和聚焦镜组成；激光发生系统发出的激光经外光路系统聚焦在聚焦镜上；其特征在于：该装置还设有光谱聚焦镜、光纤探头、光谱仪、增强型CCD和时间延迟控制器；所述的光谱聚焦镜和光纤探头固定在三维移动平台上，光谱仪通过数据线与光纤探头连接，光谱仪还通过信号线与时间延迟控制器连接，时间延迟控制器通过信号线与飞秒激光器连接，飞秒激光器、增强型CCD、光闸和三维移动平台均通过信号线与PC机连接。