[发明专利]亚微米尺度球面或者柱面微透镜阵列的制备方法无效
| 申请号： | 201210107637.1 | 申请日： | 2012-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN102621604A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 罗先刚;刘凯鹏;赵泽宇;王长涛;高平;冯沁;刘玲 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B3/06 | 分类号： | G02B3/06;G03F7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 杨学明;顾炜 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种亚微米尺度球面或者柱面微透镜阵列的制备方法，用于提供制造表面光滑的凹球面微透镜、凸球面微透镜和截面为圆弧形的柱型微透镜及其阵列。其主要步骤为：在基底上制备孔结构、或直线沟槽、或孔结构阵列、或直线沟槽阵列，使用腐蚀液对基底进行各向同性腐蚀，控制湿法腐蚀的深度就能得到预定的凹球面微透镜、截面为圆弧形的柱型微透镜、或这些结构构成的阵列，若以此凹面微透镜为模具可以浇铸或压印得到凸面微透镜。本发明该方法通过控制孔或直线沟槽的深度、孔或直线沟槽阵列结构的周期、湿法腐蚀的深度，可以得到口径和曲率半径独立可调的填充因子接近100％的球面微透镜阵列或柱型微透镜阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 微米 尺度 球面 或者 柱面 透镜 阵列 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种亚微米尺度球面或者柱面微透镜阵列的制备方法，其特征步骤如下：步骤(1)在基底上制备孔结构、或直线沟槽、或孔结构阵列、或直线沟槽阵列；步骤(2)使用腐蚀液对基底进行各向同性湿法腐蚀；步骤(3)控制湿法腐蚀的深度，得到预定的凹球面微透镜或凹球面微透镜阵列，或截面为圆弧形的柱型微透镜或截面为圆弧形的柱型微透镜阵列；步骤(4)若以此凹球面微透镜、柱型微透镜为模具可以浇铸或压印得到凸球面微透镜阵列、凸的柱型微透镜。
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