[发明专利]带有栅压调制功能的超薄封装微流体系统及其制备方法

摘要

本发明公开了一种带有栅压调制功能的超薄封装微流体系统及其制备方法与应用。该系统，由上至下依次为保护层、顶栅压电极层、膜封装层、微米通道层、测试电极层、绝缘层、底栅压电极层、基底和固定插管基座，且所述膜封装层、微米通道层和绝缘层形成微米通道腔，所述测试电极层位于所述微米通道腔的内底部，所述固定插管基座与注入管配伍，且所述注入管与所述微米通道腔相通。该系统以简易超薄封装技术为基础，带有高频测试和栅压调制功能。该系统功能新型、结构紧凑且测试精度高，在微流体物理、精细化学、生物等研究领域都有很好的应用前景。

主权项

一种微流体系统，由上至下依次为保护层、顶栅压电极层、膜封装层、微米通道层、测试电极层、绝缘层、底栅压电极层、基底和固定插管基座，且所述膜封装层、微米通道层和绝缘层形成微米通道腔，所述测试电极层位于所述微米通道腔的内底部，所述固定插管基座与注入管配伍，且所述注入管与所述微米通道腔相通。