[发明专利]一种测量光斑大小的方法有效
申请号: | 201210109842.1 | 申请日: | 2012-04-16 |
公开(公告)号: | CN102620655A | 公开(公告)日: | 2012-08-01 |
发明(设计)人: | 陈为;廖胜;李华;任栖峰;韩维强;谭述亮;李强;魏红艳;周金梅;时全领 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电技术研究所 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
代理公司: | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人: | 杨学明;顾炜 |
地址: | 610209 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种测量光斑大小的方法,采用光学系统物方扫描的方法,使得光斑依次通过阵列探测器中相邻两个探测元,获取探测器中相邻两个探测元的响应曲线,根据响应曲线的特征提取光斑大小。利用本发明能够提高大占空比探测器中光斑大小的测量精度,并且简单、可行,对于相关的光学测量具有很好的使用价值。 | ||
搜索关键词: | 一种 测量 光斑 大小 方法 | ||
【主权项】:
一种测量光斑大小的方法,其特征在于:该方法采用光斑依次通过阵列探测器中相邻两个探测元,获取探测器中相邻两个探测元的响应曲线,根据响应曲线的特征提取光斑大小。
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