[发明专利]一种用于多种高纯度含氟电子气体分析的气相色谱阀路系统及其使用方法

摘要

本发明公开了一种用于多种高纯度含氟电子特气分析的气相色谱阀路系统及其使用方法。具体包括2个四通阀、2个十通阀、1个八通阀、1个定量环、4根色谱柱、14个压力平衡调节阀和1个放电离子化检测器，系统载气为高纯氦气。本发明采用五阀四柱的阀路系统，一次进样可完成多种气相杂质的测定。该阀路系统操作方便，适用于高纯度含氟电子气体领域工业化生产中使用。

主权项

一种用于多种高纯度含氟电子气体分析的气相色谱阀路系统，包括2个四通阀、2个十通阀、1个八通阀、1个定量环、4根色谱柱、14个压力平衡调节阀和1个放电离子化检测器，系统载气为高纯氦气，其中四通阀(1)的接口①、②分别连接样品出口、样品进口，④连接第一路载气，③通过管路与第一十通阀(2)的接口①连接；第一十通阀(2)的接口②连接气体出口，③和⑩之间连接定量环(24)，④连接第三路载气，⑤和⑨之间连接预分离色谱柱(6)，⑥通过管路与八通阀(3)的接口①连接，⑦连接第二路载气，⑧连接压力平衡调节阀(21)后接气体出口；八通阀(3)的接口②通过管路与第二十通阀(4)的接口①连接，③连接第五路载气，④连接压力平衡调节阀(19)后接气体出口，⑤通过管路与第二四通阀(5)的接口①连接，⑥连接压力平衡调节阀(20)后接气体出口，⑦连接第四路载气，⑧连接第一分析色谱柱(7)；第二十通阀(4)的接口②和⑤之间连接管路和压力平衡调节阀(17)，③和⑧之间连接管路，④连接压力平衡调节阀(18)后接气体出口，⑥连接第三分析色谱柱(9)，⑦和⑩之间连接第二分析色谱柱(8)，⑨连接第六路载气；第二四通阀(5)的接口②连接第三分析色谱柱(9)，③连接压力平衡调节阀(22)后接放电离子化检测器(25)，④连接第一分析色谱柱(7)。