[发明专利]基板检查装置、基板检查方法及基板检查装置的调整方法

摘要

本发明提供基板检查装置、基板检查方法及基板检查装置的调整方法，即使在贴合的两个基板层的任意一方中存在不透过检查光的部分，也能检查贴合界面中可能产生的微小空洞。构成为具有：光源单元(30)，其以倾斜入射的方式对基板(100)的表面带状地照射检查光；线感测照相机(20)，其隔着由检查光形成在基板表面上的带状照明区域配置在与光源单元(30)相反侧的预定位置，在照明单元(30)及线感测照相机(20)与基板(100)进行相对移动时，根据从线感测照相机(20)输出的影像信号生成基板图像信息，根据基板图像信息生成与基板(100)的第1基板层(101)和第2基板层(102)的界面中可能产生的微小空洞有关的检查结果信息。

主权项

一种基板检查装置，其检查由第1基板层和第2基板层贴合而成的基板的所述第1基板层与所述第2基板层之间的界面中可能产生的微小空洞，该基板检查装置具有：照明单元，其以倾斜入射的方式对所述基板的表面照射预定波长的检查光；线感测照相机，其隔着由所述检查光形成在所述基板上的带状照明区域而配置在与所述照明单元相反侧的预定位置处；移动机构，其使所述基板与所述线感测照相机及所述照明单元在横穿所述带状照明区域的方向上进行相对移动；以及图像处理单元，其对来自所述线感测照相机的影像信号进行处理，该图像处理单元具有：基板图像信息生成单元，其在所述移动机构执行所述照明单元及所述线感测照相机与所述基板的相对移动时，根据从所述线感测照相机输出的影像信号生成表示所述基板的图像的基板图像信息；以及检查结果信息生成单元，其根据所述基板图像信息生成与所述基板的所述第1基板层和所述第2基板层之间的界面中可能产生的微小空洞有关的检查结果信息。