[发明专利]包括具有反射涂层的镜元件的投射物镜

摘要

一种光学系统包括所布置的用以将波长λ的辐射从物面中的物场成像到像面中的像场的多个元件。所述多个元件包括布置在辐射路径中的多个镜元件，镜元件具有由反射涂层形成的反射表面。至少一个镜元件具有在一个或多个位置从最佳拟合旋转对称反射表面偏离约λ以上的非旋转反射表面。该元件包括切趾校正元件，相对于不具有切趾校正元件的光学系统，该切趾校正元件有效地校正光学系统的出瞳中的空间强度分布。优选地，相对于不具有切趾校正元件的光学系统，该切趾校正元件有效地增加出瞳中的空间强度分布的对称性。

主权项

一种光学系统，包括：多个元件，布置用于将波长λ的辐射从物面中的物场成像到像面中的像场；所述元件包括镜元件，该镜元件具有布置在辐射路径的由反射涂层形成的反射表面；所述镜元件中的至少一个具有在一个或多个位置偏离最佳拟合旋转对称反射表面约λ以上的非旋转对称反射表面；所述元件包括切趾校正元件，相对于不具有该切趾校正元件的光学系统，该切趾校正元件有效地校正该光学系统的出瞳中的空间强度分布，其中，所述切趾校正元件是具有由反射涂层形成的反射面的镜元件，所述反射涂层设计为非旋转对称渐变涂层，该非旋转对称渐变涂层包括不同材料的多层叠层，所述不同材料的多层叠层形成多个双层，其中所述双层包括具有第一折射率的第一材料的相对厚的第一层和具有第二折射率的第二材料的相对薄的第二层，所述第二折射率高于所述第一折射率，所述多个双层具有几何层厚，该几何层厚在涂层的第一方向上根据第一渐变方程变化而在垂直于所述第一方向的第二方向上根据不同于所述第一渐变方程的第二渐变方程变化，所述第一层的厚度和第二层的厚度之间的厚度比实质上保持不变。