[发明专利]功能元件、传感器元件、电子设备和功能元件的制造方法有效
| 申请号： | 201210116661.1 | 申请日： | 2012-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN102749091A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 与田光宏;河野秀逸;高木成和;山崎成二 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供功能元件、传感器元件、电子设备和功能元件的制造方法，可抑制制造效率降低。所述功能元件的特征是具备：具有主面(16)的基板(12)；在上述主面(12)上配置的槽部(第1槽部(24)、第2槽部(26))；和跨越上述基板(12)上的上述槽部进行配置的固定电极部(第1固定电极指(78)、第2固定电极指(80))，在上述槽部的内部中，在俯视时与上述固定电极部重叠的位置上设置有采用上述基板以及上述固定电极部的至少一方形成的凸部(54、56)，上述凸部(54、56)具有接合面(端面(82))，在该接合面侧配置有布线(第1布线(30)、第2布线(36))，并经由上述布线连接上述基板(12)与上述固定电极部。 | ||
| 搜索关键词： | 功能 元件 传感器 电子设备 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种功能元件，其特征在于，该功能元件具有：基板，在其主面上设置有槽部，在该槽部内设置有布线；以及固定电极部，其跨越所述基板上的所述槽部进行配置，在所述固定电极部与所述布线间的连接部配置有采用所述基板以及所述固定电极部的至少一方构成的凸部。
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