[发明专利]用于热调节光刻设备的部份的热调节系统和热调节方法

摘要

本发明公开了一种用于热调节光刻设备的部份的热调节系统及热调节方法。所述系统包括：蒸发器，定位成与部份热接触，以通过蒸发器内流体的蒸发来从部份提取热量；冷凝器，定位成与部份相距一距离，用于通过冷凝器内流体的冷凝来从冷凝器内的流体去除热量；流体管路，布置在蒸发器和冷凝器之间，以形成流体能在其中流动的回路；泵，布置在回路中，以使流体在回路中循环；储存器，用于保持流体，储存器与回路流体连通且包括热交换器；温度传感器，用于提供表示流体温度的测量信号；及控制器，用于基于测量信号、通过调整热交换器传递至储存器内的流体或者从储存器内的流体传递的热量，而将回路内流体的温度保持为基本恒定。

主权项

一种两相热调节系统，用于热调节光刻设备的部份，所述热调节系统包括：蒸发器，所述蒸发器定位成与光刻设备的所述部份热接触，以通过蒸发器内的流体的蒸发来从所述部份提取热量；冷凝器，所述冷凝器定位成与光刻设备的所述部份相距一距离，用于通过冷凝器内的流体的冷凝来从冷凝器内的流体去除热量；流体管路，所述流体管路布置在所述蒸发器和所述冷凝器之间，用于形成流体能够在其中流动的回路；泵，所述泵布置在所述回路中，以使流体在所述回路中循环；储存器，所述储存器配置成保持流体，其中所述储存器与所述回路流体连通并且包括热交换器，所述热交换器从储存器内的流体传递热量或将热量传递至储存器内的流体；温度传感器，所述温度传感器配置成提供表示流体的温度的测量信号；以及控制器，配置成基于所述测量信号、通过调整所述热交换器传递至储存器内的流体的热量或者从储存器内的流体传递的热量，而将回路内的流体的温度保持为基本恒定。