[发明专利]温控针支撑基板进行配向膜预干燥的装置及方法有效
| 申请号： | 201210117359.8 | 申请日： | 2012-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN102633442A | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 朱美娜;赵建君;施翔尹 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/32 | 分类号： | C03C17/32 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种温控针支撑基板进行配向膜预干燥的装置及方法，该装置包括用于从基板下方预干燥基板的加热器、用于向上支撑基板的若干温控针以及温控系统，所述温控针连接至所述温控系统，每个所述温控针可由所述温控系统单独控制温度，以使基板上温控针的支撑位置与支撑位置的周围受热均匀。本发明的温控针支撑基板进行配向膜预干燥的装置及方法可以减少玻璃基板表面的受热不均，减少Pin Mura。 | ||
| 搜索关键词： | 温控 支撑 进行 干燥 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种温控针支撑基板进行配向膜预干燥的装置，其特征在于，包括用于从基板下方预干燥基板的加热器、用于向上支撑基板的若干温控针以及温控系统，所述温控针连接至所述温控系统，每个所述温控针可由所述温控系统单独控制温度，以使基板上温控针的支撑位置与支撑位置的周围受热均匀。
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