[发明专利]用于沟道填充的新型沟道隔离槽有效
| 申请号： | 201210118164.5 | 申请日： | 2012-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN102627252A | 公开（公告）日： | 2012-08-08 |
| 发明（设计）人： | 乔大勇;史龙飞;刘耀波;康宝鹏;杨璇;梁晓伟;夏长峰 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 吕湘连 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了以一种用于沟道填充的新型矩形沟道隔离槽，属于微机电系统(MEMS)和微加工技术。本发明提出的沟道隔离槽，内壁面上任意一点到外壁面距离均不大于d，d为沟道隔离槽宽度。满足上述技术特征的沟道隔离槽具体形式多样，本发明给出了多个具体实施例。本发明通过直接改变沟道隔离槽的拐角形状，进而避免矩形槽拐角处出现小部分未填充的现象，以保证沟槽拐角处可以完全填充。虽然由于刻蚀离子会从底面弹回，造成对侧壁的二次刻蚀，但是由于矩形沟道拐角处为圆弧等形状，内壁面与外壁面之间距离小于或等于2μm与矩形槽之间距离相等，足以确保填充无缝隙。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 沟道 填充 新型 隔离 | ||
【主权项】：
一种用于沟道填充的新型沟道隔离槽，其特征在于：内壁面上任意一点到外壁面距离均不大于d，d为沟道隔离槽宽度。
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