[发明专利]半导体芯片与封装结构以及其形成方法有效

专利信息
申请号: 201210118196.5 申请日: 2012-04-20
公开(公告)号: CN103378031A 公开(公告)日: 2013-10-30
发明(设计)人: 陈逸男;徐文吉;叶绍文;刘献文 申请(专利权)人: 南亚科技股份有限公司
主分类号: H01L23/48 分类号: H01L23/48;H01L21/768
代理公司: 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 代理人: 江耀纯
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明公开了一种半导体芯片,包含基底、穿硅通孔结构、上凸块以及绝缘结构。基底具有上表面以及相对于上表面的下表面。通孔设置于基底中,贯穿上表面以及下表面。穿硅通孔结构设置于通孔中,包含第一通孔金属与第二通孔金属。上凸块设置于上表面上,与穿硅通孔结构电性连接,并包含第一凸块金属与第二凸块金属。绝缘结构设置于基底中并远离上表面,而围绕第二通孔金属。本发明另外还提供了一种封装结构与其形成方法。
搜索关键词: 半导体 芯片 封装 结构 及其 形成 方法
【主权项】:
一种半导体芯片,其特征在于,包含:基底,具有上表面以及相对于所述上表面的下表面;穿硅通孔结构设置于通孔中,贯穿所述上表面以及所述下表面,所述穿硅通孔结构包含第一通孔金属与第二通孔金属;上凸块设置于所述上表面上,与所述穿硅通孔结构电性连接,并包含第一凸块金属与第二凸块金属;以及绝缘结构设置于所述基底中并远离所述上表面,所述绝缘结构围绕所述第二通孔金属。
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