[发明专利]半导体结构及其制作方法有效
申请号: | 201210118523.7 | 申请日: | 2012-04-20 |
公开(公告)号: | CN103378139A | 公开(公告)日: | 2013-10-30 |
发明(设计)人: | 洪志临;朱建文;陈信良;陈永初 | 申请(专利权)人: | 旺宏电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/73 | 分类号: | H01L29/73;H01L29/40;H01L29/06;H01L21/331 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 宋焰琴 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种半导体结构及其制作方法,该半导体结构包括一衬底、一第一导电型的阱区、一第二导电型的阱区、一本体区、一第一掺杂区、一第二掺杂区、一第三掺杂区以及一场板。第一导电型的阱区与第二导电型的阱区分别形成于衬底中。本体区形成于第二导电型的阱区中。第一与第二掺杂区分别形成于第一导电型的阱区中与本体区中。第二掺杂区与第一掺杂区的极性相同,且第二掺杂区的杂质浓度大于第一掺杂区的杂质浓度。第三掺杂区形成于第二导电型的阱区,且位于第一与第二掺杂区之间。第三掺杂区与第一掺杂区的极性相反。场板形成于第二与第三掺杂区之间的表面区域。 | ||
搜索关键词: | 半导体 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种半导体结构,包括:一衬底;一第一导电型的阱区与一第二导电型的阱区,分别形成于该衬底中;一本体区,形成于该第二导电型的阱区中;一第一掺杂区与一第二掺杂区,分别形成于该第一导电型的阱区中与该本体区中,该第二掺杂区的极性与该第一掺杂区的极性相同,且该第二掺杂区的杂质浓度大于该第一掺杂区的杂质浓度;一第三掺杂区,形成于该第二导电型的阱区,且位于该第一掺杂区与该第二掺杂区之间,该第三掺杂区的极性与该第一掺杂区的极性相反;以及一第一场板,形成于该第二掺杂区与该第三掺杂区之间的表面区域。
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