[发明专利]硬质涂层及其形成方法有效
| 申请号： | 201210118716.2 | 申请日： | 2012-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN103184414B | 公开（公告）日： | 2017-03-01 |
| 发明（设计）人： | 梁智勋;郑在仁 | 申请（专利权）人： | 浦项产业科学研究院 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/06;B32B9/04 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司11018 | 代理人： | 周艳玲,罗正云 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种硬质涂层及其形成方法，该方法包括以下步骤洗涤基板；在真空设备中安装经过洗涤的所述基板，并将所述真空设备内部做成真空；清洁所述基板；在所述基板上以斜角形成斜角涂层；以及在形成所述斜角涂层之后，施加偏压，以与所述基板垂直的方向在所述斜角涂层上形成垂直涂层。本发明通过以斜角和垂直形成硬质涂层，从而使得硬质涂层具有高硬度的机械物理性质。 | ||
| 搜索关键词： | 硬质 涂层 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种硬质涂层的形成方法，包括以下步骤：洗涤基板；在真空设备中安装经过洗涤的所述基板，并将所述真空设备的内部做成真空；清洁所述基板；直接在所述基板上以斜角形成斜角涂层；以及在形成所述斜角涂层之后，施加偏压，以与所述基板垂直的方向在所述斜角涂层上形成垂直涂层，其中所述垂直涂层的硬度超过30GPa。
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