[发明专利]气浮管接头组件及应用其的六自由度气浮管接头和掩模台

摘要

本发明提出一种气浮管接头组件及应用其的六自由度气浮管接头和掩模台，所述六自由度气浮接头，主要由X、Y、Z向气浮轴杆以及X、Y、Z向气浮轴套组成，真空、正压气体通过固定在粗动台(或者线缆台)上的进气块给运动台微动台供气，在X/Y/Z/Rx/Ry/Rz六个自由度方向上均有一定无摩擦的运动行程，完全解决了气体输送的六自由度耦合问题，可以有效降低由于软管自身的刚度阻尼对微动台运动性能的扰动。本发明提出的气浮管接头组件及应用其的六自由度气浮管接头和掩模台，具有真空、正压气路混合转接功能，并在六自由度方向具有一定无摩擦的运行行程。

主权项

一种气浮管接头组件，其特征在于，包括：气浮轴杆，其上贯穿开设有第一导气通道，气浮轴杆的侧壁上设置有连接所述第一导气通道的气浮道孔；气浮轴套，其上对应设置有连接所述第一导气通道的第二导气通道，所述气浮轴套可相对运动地套设于所述气浮轴杆外；外部真空或正压气体进入所述第一导气通道后，一部分进入第二导气通道，一部分经气浮轴杆上的气浮道孔输出，在气浮轴杆和气浮轴套之间形成气膜。