[发明专利]电磁波检测元件

摘要

本发明提供一种可以防止在传感器部分的光利用效率降低的电磁波检测元件。传感器部分被设置成与扫描线和信号线的相应交叉部分对应，并且具有由于辐照电磁波而产生电荷的半导体层，并且在其电磁波辐照表面侧形成上电极，在其非电磁波辐照表面侧形成下电极。通过共电极线将偏压经由相应的接触孔供应给相应的上电极，所述共电极线是相比于半导体层更向着电磁波下游侧形成的。

主权项

一种间接转换型辐射图像检测器，所述间接转换型辐射图像检测器包括：闪烁体，所述闪烁体将辐射转换为光；多个像素，所述多个像素各自包括传感器部分和开关元件，并且所述多个像素以二维形式设置，所述传感器部分中的每一个具有：半导体层，所述半导体层由于被转换的光的照射而产生电荷，第一电极，所述第一电极由对电磁波具有透射性的导电性构件在所述半导体层的被辐照所述电磁波的辐照表面侧形成，所述第一电极对所述半导体层施加偏压，和第二电极，所述第二电极形成在所述半导体层的相对于所述电磁波的非辐照表面侧，所述第二电极收集在所述半导体层产生的电荷；多个共电极线，所述多个共电极线形成在所述传感器部分的电磁波下游侧，所述多个共电极线中的至少一个连接至所述第一电极，并且提供所述偏压；第一绝缘膜，所述第一绝缘膜被设置在所述传感器部分与所述共电极线之间，并且所述第一绝缘膜使所述传感器部分与所述共电极线绝缘；多个接触孔，所述多个接触孔形成于所述第一绝缘膜中；和多个接触件，所述多个接触件各自的一端分别经由所述接触孔中的一个连接至所述第一电极中的一个，并且另一端连接至所述共电极线。