[发明专利]一种高纯度磷化铟多晶棒的制备方法无效
| 申请号： | 201210121671.4 | 申请日： | 2012-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN102628180A | 公开（公告）日： | 2012-08-08 |
| 发明（设计）人： | 范家骅;刘文兵;杜万毅;黄殿军 | 申请（专利权）人： | 南京金美镓业有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/04 | 分类号： | C30B28/04;C30B29/40 |
| 代理公司： | 江苏致邦律师事务所 32230 | 代理人： | 王伟 |
| 地址： | 211165 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高纯度磷化铟多晶棒的制备方法，其步骤如下：在高压炉中设置坩埚，将高纯度铟置于坩埚中，高纯度无水氧化硼覆盖在高纯度铟之上；将高纯度磷蒸汽注入熔化的高纯度铟中，在高纯度无水氧化硼覆盖下，直接合成磷化铟；用引上杆将磷化铟多晶从磷化铟熔体中以棒状形状引出，高温时粘稠的氧化硼粘覆在多晶棒表面，防止了磷化铟多晶棒在高温下分解，保证了磷化铟中磷和铟的化学计量比。本发明是吸收了注入法的优点而发展的新型合成法，克服了磷泡易炸的工艺难题和化学计量比的问题，同时引入了磷化铟进一步提纯的工艺，可以稳定地生产优质磷化铟多晶棒。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纯度 磷化 多晶 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种高纯度磷化铟多晶棒的制备方法，其特征在于如下步骤：在高压炉中设置坩埚，将高纯度铟置于坩埚中，高纯度无水氧化硼覆盖在高纯度铟之上；将高纯度磷蒸汽注入熔化的高纯度铟中，在高纯度无水氧化硼覆盖下，直接合成磷化铟；用引上杆将磷化铟多晶从磷化铟熔体中以棒状形状引出，高温时粘稠的氧化硼粘覆在磷化铟多晶棒表面，防止了磷化铟多晶棒在高温下分解，保证了磷化铟中磷和铟的化学计量比。
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