[发明专利]电感及其形成方法、射频器件、集成无源器件在审
| 申请号： | 201210122321.X | 申请日： | 2012-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN102637677A | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 黎坡;林伟铭 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64;H01L21/02;H01F37/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种电感，设置于介质层中，所述电感包括本体与凸缘，所述凸缘至少设置于所述本体一个表面且镶嵌于所述介质层中。此外，本发明还提供了该电感的形成方法以及包含该电感的射频器件、集成无源器件。采用本发明的技术方案，在提高包含该电感的射频器件、集成无源器件的品质因素Q的同时且工艺简单。 | ||
| 搜索关键词： | 电感 及其 形成 方法 射频 器件 集成 无源 | ||
【主权项】：
一种电感，设置于介质层中，其特征在于，所述电感包括本体与凸缘，所述凸缘至少设置于所述本体一个表面且镶嵌于所述介质层中。
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