[发明专利]一种倒金字塔形发光二极管的制备方法无效
| 申请号： | 201210122440.5 | 申请日： | 2012-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN102629651A | 公开（公告）日： | 2012-08-08 |
| 发明（设计）人： | 宋超;刘榕;张建宝 | 申请（专利权）人： | 华灿光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 江西省专利事务所 36100 | 代理人： | 胡里程 |
| 地址： | 430223 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开一种倒金字塔形发光二极管的制备方法，其特征在于：该方法包括使用激光对管芯切割，使用激光多次以不同的切割参数切割，组合不同深度的激光划痕，去除部分蓝宝石衬底，之后使用抛光工艺，抛光衬底。本发明的优点在于：倾斜角度可控：只需要控制相邻切割划痕的深度变化，即可以控制倾斜面的倾斜角度。对目前的工艺改变较小，推广容易：只需要在目前的激光切割技术和侧腐技术的基础上作小范围更改，通过控制相邻划痕深度差距，可以将芯片侧面切割成其他几何形状，例如弧形。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金字塔 发光二极管 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种倒金字塔形发光二极管的制备方法，其特征在于：该方法包括使用激光对管芯切割，使用激光多次以不同的切割参数切割，组合不同深度的激光划痕，去除部分蓝宝石衬底，之后使用抛光工艺，抛光衬底。
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