[发明专利]制造透明胞室分层结构的方法有效
申请号: | 201210124170.1 | 申请日: | 2007-12-20 |
公开(公告)号: | CN102681209A | 公开(公告)日: | 2012-09-19 |
发明(设计)人: | 皮埃尔·沙韦尔;热罗姆·巴莱;克里斯蒂安·博韦;让·保罗·卡诺;保罗·勒菲亚斯特 | 申请(专利权)人: | 埃西勒国际通用光学公司;国家科研中心 |
主分类号: | G02C7/10 | 分类号: | G02C7/10;G02C7/08 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 楼仙英;徐年康 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 法国;FR |
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摘要: | 制造透明胞室分层结构的方法包括:获得透明叠层结构,该叠层依次包括由光刻树脂构成的第一层、附加层和第二层,其中附加层吸收光刻方法中适于用来蚀刻第一层的树脂的射线;在第二层上形成掩模,该掩模限定待成形胞室的位置;选择性地移除由掩模限定的一部分第二层和附加层,从而在第二层和附加层中形成第一组胞室;将至少一种光学活性物质填充到第一组的胞室中;在掩模被移开后,穿过第二层和附加层照射由光刻树脂构成的第一层,从而选择性地,相对于第一层中与附加层的剩余部分对齐的部分,该第一层中位置与第一组胞室对齐的那部分变为永久凝固;对第一树脂层进行显影以形成第一树脂层中的第二组胞室;将光学活性物质填充入第二组的胞室中。 | ||
搜索关键词: | 制造 透明 分层 结构 方法 | ||
【主权项】:
一种制造透明胞室分层结构(100)的方法,该方法包括如下步骤:a)获得透明的叠层结构,该叠层依次包括:由光刻树脂构成的第一层(10)、附加层(21)和第二层(22),其中所述附加层(21)吸收光刻方法中适于用来蚀刻所述第一层的树脂的射线;b)在所述第二层(22)上形成掩模(30),该掩模限定了待成形胞室(1)的位置;c)选择性地移除由所述掩模(30)限定的一部分所述第二层(22)和附加层(21),从而在所述第二层和所述附加层中形成第一组胞室(1);d)将至少一种光学活性物质填充到第一组的胞室(1)中;e)在掩模(30)被移开后,穿过第二层(22)和附加层(21)照射由光刻树脂构成的第一层(10),从而选择性地,相对于所述第一层(10)中与附加层的剩余部分(21a)对齐的部分,该第一层中位置与第一组胞室(1)对齐的那部分变为永久凝固;f)对第一树脂层(10)进行显影,以形成第一树脂层中的第二组胞室(1);以及g)将光学活性物质填充入第二组的胞室(1)中。
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