[发明专利]用于真空处理装置的接地组件有效
| 申请号： | 201210124533.1 | 申请日： | 2012-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN102760631A | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | C·L·史蒂文斯;W·T·布洛尼甘 | 申请（专利权）人： | 奥博泰克LT太阳能公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 王琼先;王永建 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种真空处理室，其具有用于改善与衬底支架的电接触的装置。具体实施例提供了一种等离子体处理室，其具有用于支撑支架的基架、多个固定柱和在基架的整个区域上分散的弹性触头。所述固定柱为支架提供物理支撑，同时弹性触头提供与支架的可靠的、可重复的多点电接触。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空 处理 装置 接地 组件 | ||
【主权项】：
一种真空处理室，包括：室主体；基架；设在所述基架顶面上的多个弹性触头；连接每个弹性触头至地电位的地电位路径；和，坐落在基架上并与弹性触头形成电接触的支架。
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