[发明专利]划刻光伏器件期间随时间改变激光强度的方法有效
申请号: | 201210129991.4 | 申请日: | 2012-04-19 |
公开(公告)号: | CN102744520A | 公开(公告)日: | 2012-10-24 |
发明(设计)人: | J·M·弗里 | 申请(专利权)人: | 初星太阳能公司 |
主分类号: | B23K26/36 | 分类号: | B23K26/36 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 张金金;朱海煜 |
地址: | 美国科*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本公开涉及划刻光伏器件期间随时间改变激光强度的方法。提供用于激光划刻包括衬底(12)上的多个薄膜层的膜堆叠(13)的方法。激光束(30)的脉冲施加于该膜堆叠(13),其中该激光束(30)具有在根据预定功率周期的脉冲期间作为时间的函数而变化的功率。例如,该脉冲可以具有持续大约0.1纳秒至大约500纳秒的脉冲。激光束(30)的该脉冲可以跨膜堆叠(13)重复以形成通过衬底(12)上的薄膜层中的至少一个的划刻线。这样的方法在激光划刻基于碲化镉薄膜的光伏器件(10)方面特别有用。 | ||
搜索关键词: | 划刻光伏 器件 期间 随时 改变 激光 强度 方法 | ||
【主权项】:
一种激光划刻膜堆叠(13)的方法,所述膜堆叠包括衬底(12)上的多个薄膜层,所述方法包括:施加激光束(30)的脉冲到所述膜堆叠(13)上,其中所述激光束(30)具有在完成预定功率周期的脉冲期间作为时间的函数而变化的功率,其中所述脉冲持续大约0.1纳秒至大约500纳秒;以及跨所述膜堆叠(13)重复所述激光束(30)的脉冲以形成通过所述衬底(12)上的薄膜层中的至少一个的划刻线(44)。
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