[发明专利]一种横向设置的强流电子注截面三坐标扫描测量系统

摘要

本发明公开了一种横向安置的强流电子注截面三坐标扫描测量系统，包括一个测量工作区腔体和一套法拉第筒传感器系统，在所述测量工作区腔体的内部具有一套高真空运动机构，该机构包括一个高真空三坐标移动平台和一套高真空步进电机；所述法拉第筒传感器系统包括由法拉第外筒和法拉第内筒构成的法拉第传感器；所述法拉第筒传感器支撑杆固定在所述高真空运动机构上，通过所述高真空运动机构的驱动，其能够在所述三个方向上移动和定位。本发明体积较小，可以单独纵向使用，也可以作为部件横向设置接入大型横向强流电子注分析仪中使用，可以测量电磁场聚焦下强流电子注全程传输特性；且本发明可测量数百伏至十万伏左右的强流电子注的电子光学性能，同时还可以为其它快速测量高压强流电子注的方法如X光韧致辐射法提供有益的校正参考方法。

主权项

一种强流电子注截面三坐标扫描测量系统，包括一个测量工作区腔体(101)和一套法拉第筒传感器系统(401)，其特征在于，在所述测量工作区腔体(101)的内部具有一套高真空运动机构，该机构包括一个高真空三坐标移动平台(201)，所述高真空三坐标移动平台(201)是由可在两两之间相互正交的三个方向上可精密移动的移动平台组合而成；所述法拉第筒传感器系统(401)包括由法拉第外筒和法拉第内筒构成的法拉第传感器，所述法拉第筒传感器设置在一个法拉第筒传感器支撑杆(5)的端部，所述法拉第筒传感器支撑杆(5)是一个中空的管道，其中心具有绝缘于法拉第筒传感器支撑杆(5)的内壁及法拉第筒外筒(7)的电流引线(6)，该电流引线(6)用于收集内筒的微电流；所述法拉第筒传感器支撑杆(5)固定在所述高真空运动机构上，通过所述高真空运动机构的驱动，其能够在所述三个方向上移动和定位。