[发明专利]三维测量装置

摘要

本发明提供一种三维测量装置，其中，在采用相移法而进行三维测量时，能谋求测量精度的提高，并且能谋求测量时间的缩短。基板检查装置包括：对印刷电路板照射条纹状的光图案的照射装置；对其摄像的照相机；根据已拍摄的图像数据进行三维测量的控制装置。照射装置包括发出规定光的光源与液晶快门，该液晶快门形成用于将该光变换为条纹状的光图案的光栅。控制装置在进行第1摄像处理后进行第2摄像处理，在两个摄像处理结束后，同时进行两个照射装置的光栅的切换处理，其中，上述第1摄像处理为从第1照射装置照射第1光图案而进行的多次摄像处理中的一次，该第2摄像处理为从第2照射装置照射第2光图案而进行的多次摄像处理中的一次。

主权项

一种三维测量装置，其包括：第1照射机构，该第1照射机构具有发出规定的光的第1光源与第1光栅，该第1光栅将来自该第1光源的光变换为具有条纹状的光强度分布的第1光图案，该第1照射机构能将该第1光图案从第1位置照射到被测量物；第1光栅控制机构，该第1光栅控制机构控制上述第1光栅的移送或切换，多次地改变从上述第1照射机构照射的上述第1光图案的相位；第2照射机构，该第2照射机构具有发出规定的光的第2光源与第2光栅，该第2光栅将来自该第2光源的光变换为具有条纹状的光强度分布的第2光图案，该第2照射机构能将该第2光图案从与第1位置不同的第2位置照射到被测量物；第2光栅控制机构，该第2光栅控制机构控制上述第2光栅的移送或切换，多次地改变从上述第2照射机构照射的上述第2光图案的相位；摄像机构，该摄像机构能对来自照射了上述第1光图案或第2光图案的上述被测量物的反射光进行摄像；图像处理机构，该图像处理机构依据多个图像数据通过相移法进行三维测量，该多个图像数据依据相位多次发生变化的上述第1光图案或第2光图案的照射而获得，其特征在于，在进行第1摄像处理之后进行第2摄像处理，在上述第1摄像处理和上述第2摄像处理结束后，同时地进行上述第1光栅和上述第2光栅的移送或切换处理，上述第1摄像处理为，照射上述相位不同的多个第1光图案 而进行的多次摄像处理中的一次，上述第2摄像处理为，照射上述相位不同的多个第2光图案而进行的多次摄像处理中的一次。