[发明专利]有机电致发光显示装置的制造方法和包括由该制造方法制造的有机电致发光显示装置的电子设备有效
申请号: | 201210132278.5 | 申请日: | 2012-04-27 |
公开(公告)号: | CN102760844A | 公开(公告)日: | 2012-10-31 |
发明(设计)人: | 远藤太郎;佐藤信彦;高谷格;广木知之;石毛刚一;盐原悟;镰谷淳;西出洋祐 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 李帆 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供包括有机电致发光元件的有机电致发光显示装置的制造方法,其具有与以真空原位法形成的有机电致发光元件的那些相当的元件特性,同时利用基于光刻法的图案化方法。有机电致发光显示装置的制造方法包括:至少在第一电极上形成有机化合物层的有机化合物层形成步骤;在该有机化合物层上形成剥离层的剥离层形成步骤;加工该剥离层的剥离层加工步骤;和将没有被在该剥离层加工步骤中已被加工的剥离层覆盖的区域中的有机化合物层除去的有机化合物层加工步骤,并且该剥离层中的至少最下层是由在极性溶剂中可溶的材料形成的沉积膜。 | ||
搜索关键词: | 有机 电致发光 显示装置 制造 方法 包括 电子设备 | ||
【主权项】:
有机电致发光显示装置的制造方法,该有机电致发光显示装置包括有机电致发光元件,该有机电致发光元件包括第一电极和第二电极以及配置在该第一电极和该第二电极之间的有机化合物层,将该有机化合物层图案化,该方法包括:至少在该第一电极上形成该有机化合物层的有机化合物层形成步骤;在该有机化合物层上形成剥离层的剥离层形成步骤;加工该剥离层的剥离层加工步骤;将没有被在该剥离层加工步骤中已被加工的剥离层覆盖的区域中的有机化合物层除去的有机化合物层加工步骤;和用极性溶剂将该剥离层除去的剥离层除去步骤,其中:该有机化合物层形成步骤包括由具有间‑三联苯基团的化合物以外的稠多环烃化合物形成该有机化合物层的最上层的步骤;并且该剥离层形成步骤包括在该剥离层的至少最下层中通过气相沉积法形成在极性溶剂中可溶的化合物的步骤。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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