[发明专利]一种强流电子注分析仪的电子注截面测量系统有效
| 申请号： | 201210132510.5 | 申请日： | 2012-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN103376460A | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 李庆生;吴迅雷;阮存军;李崇山;李彦峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于强流电子注分析仪的电子注截面测量系统，包包括一个高真空腔体(101)，该高真空腔体(101)具有一个前接口(101)，用于连接外部设备。所述高真空腔体(101)横向水平安置，所述电子注截面测量系统还包括一个YAG支筒支撑与运动机构(301)和一个YAG晶体探测器(201)。所述YAG支筒支撑与运动机构(301)位于所述高真空腔体(101)内，用于对所述YAG晶体探测器(201)进行支撑；所述YAG晶体探测器(201)用于探测电子注空间密度分布。本发明可接入横向强流电子注分析仪来测量电磁聚焦下的电子注全程传输特性，也可测量20～100kV电压的强流电子注电子光学性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 流电 分析 电子 截面 测量 系统 | ||
【主权项】：
一种用于强流电子注分析仪的电子注截面测量系统，包括一个高真空腔体(101)，该高真空腔体(101)具有一个前接口(101)，用于连接外部设备，其特征在于，所述高真空腔体(101)横向水平安置，并且，所述电子注截面测量系统还包括一个YAG支筒支撑与运动机构(301)和一个YAG晶体探测器(201)，所述YAG支筒支撑与运动机构(301)位于所述高真空腔体(101)内，用于对所述YAG晶体探测器(201)进行支撑；所述YAG晶体探测器(201)用于探测电子注空间密度分布。
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