[发明专利]用于气体传输系统的优化的防激活组件及其方法

摘要

本发明公开了一种用于气体传输系统的优化的防激活组件。该装置包括气动操作阀组件。该装置还包括机械地连接于该气动操作阀组件的肘节开关，该肘节开关包括肘节臂，该肘节臂位于激活区和反激活区中的一个内，其中当该肘节臂位于该激活区时激活该气动操作阀，而当该肘节臂位于该反激活区时反激活该气动操作阀。该装置进一步包括连接到该肘节开关的防激活机构，其中该防激活机构被配置为防止该肘节臂在未能至少绕过该优化的防激活机构的上锁功能的情况下被从该反激活区重新置位到该激活区。

主权项

一种耦合至等离子处理中心的输入歧管的集成气体棒，该集成气体棒控制进入该输入歧管中的工艺气体的流动，包括：气体阀，可操作地耦合至该输入歧管；肘节臂，配置为位于肘节激活位置和肘节反激活位置之一；上锁机构，与该气体阀耦合，该上锁机构被配置为当锁用于该上锁机构时在没有绕过锁的情况下，阻止该肘节臂从该肘节反激活位置重新置位到该肘节激活位置；肘节操作开关，耦合至该肘节臂；压力联结器，用于接收压缩气体；转接头配件，具有上配件、与该上配件相对的下配件、以及与该上配件、下配件均成直角的侧配件，该侧配件耦合至该压力联结器，该上配件耦合至该肘节操作开关，以及该下配件耦合至该气体阀，该肘节臂设置在该肘节操作开关的上方，其中当该肘节臂设置在该肘节激活位置内时，该肘节操作开关允许该压缩气体通过转接头配件到达该气体阀，由此允许该压缩气体，当存在时，激活该气体阀，从而允许该工艺气体在该输入歧管内流动，以及可替换地允许该压缩气体，当存在时，反激活该气体阀，从而防止该工艺气体在该输入歧管内流动，以及当该肘节臂处于反激活位置时，该肘节操作开关阻止该压缩气体通过该转接头配件到达该气体阀，由此使得该肘节操作开关不管是否提供压缩气体都能够间接阻止该工艺气体在该歧管内流动。