[发明专利]化学气相沉积的气体预热系统无效
| 申请号： | 201210134425.2 | 申请日： | 2012-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN103132053A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 方政加;刘恒 | 申请（专利权）人： | 绿种子科技（潍坊）有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/46 | 分类号： | C23C16/46 |
| 代理公司： | 北京泛诚知识产权代理有限公司 11298 | 代理人： | 陈波;文琦 |
| 地址： | 261061 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的实施例提供一种用于化学气相沉积的气体预热系统。该系统包含一加热模块以及一传送模块。传送模块用于通过一种或多种气体，而加热模块透过传送模块间接加热于一种或多种气体。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 沉积 气体 预热 系统 | ||
【主权项】：
一种气体预热系统，用于一化学气相沉积，包含：一加热模块；以及一传送模块，用于通过一种或多种气体；其中所述加热模块透过所述传送模块，间接加热所述一种或多种气体。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
