[发明专利]压力传感器有效
| 申请号： | 201210135217.4 | 申请日： | 2009-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN102645301A | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 渡边润;藤崎昌伸;本山久雄 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L19/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄纶伟;马建军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种减少伴随温度变化的压力测定值的误差的压力传感器。压力传感器具有：受压单元，其具有挠性部和所述挠性部外侧的周缘区域，所述挠性部的一个主面具有受压面；外壳，其开口部被作为所述一个主面的内侧的另一个主面封闭；以及双音叉型压电振子，其具有连接在所述另一个主面的中央区域的第1基部、第2基部、以及在所述第1基部和所述第2基部之间的振动臂，所述第1基部和所述第2基部的排列方向与所述受压单元的位移方向平行，该压力传感器的特征在于，所述第2基部被通过连接单元连接到所述另一个主面的所述周缘区域，所述连接单元具有隔着所述振动臂从所述第2基部向第1基部侧延伸的一对支承板。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种压力传感器，该压力传感器具有：受压单元，其具有挠性部和所述挠性部外侧的周缘区域，所述挠性部的一个主面具有受压面；外壳，其开口部被作为所述一个主面的内侧的另一个主面封闭；以及双音叉型压电振子，其具有连接在所述另一个主面的中央区域的第1基部、第2基部、以及在所述第1基部和所述第2基部之间的振动臂，所述第1基部和所述第2基部的排列方向与所述受压单元的位移方向平行，该压力传感器的特征在于，所述第2基部被通过连接单元连接到所述另一个主面的所述周缘区域，所述连接单元具有隔着所述振动臂从所述第2基部向第1基部侧延伸的一对支承板。
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