[发明专利]一种光刻机自动对准的图像处理方法

摘要

本发明提供一种光刻机自动对准的图像处理方法，所述的方法首先对采集到的标记图像进行噪声平滑处理，求出最佳阈值进行二值化，通过视频求和投影法识别目标的边缘位置，求出标记的中心进行粗略对准。再通过边缘搜索和曲线拟合进行精确定位，控制工件台的运动实现光刻机的高精度对准。该方法具有对准精度高，提高对准效率等优点。

主权项

一种光刻机自动对准的图像处理方法，其特征在于，图像处理的步骤包括：步骤S1：通过2路独立的CCD，同时获取掩模和硅片上的左右标记图像步骤S2：对采集到的标记图像进行噪声平滑预处理，消除图像信号中的噪声，且保持原有的图像边缘步骤S3：对去噪声的图像求直方图，对直方图进行高斯平滑，求出最佳阈值进行二值化，最后采用视频求和法确定标记边缘步骤S4:忽略标记的倾斜角度而直接采用求和投影带来边缘的定位误差，再采用梯度算法进行边缘判断；由梯度的性质可知，在灰度陡变区，梯度值大，在灰度相似区域，梯度值小，在灰度级为常数区，梯度值为零，从而判断二值图像的边缘点步骤S5：根据图像的边缘点集，用最小二乘法拟合确定中线方程，求出标记的中心位置，再根据对准原理，求出掩模坐标系中心相对于硅片坐标系中心的位置关系（ΔX，ΔY），以及坐标轴的位置关系Δθ；步骤S6：如果ΔX，ΔY，Δθ满足了系统的对准精度要求，则停止工件台的运动；否则执行步骤S1，直到满足要求为止。