[发明专利]冷却系统及具该系统的热退火炉管和冷却方法有效
| 申请号： | 201210138202.3 | 申请日： | 2012-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN102645102A | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 敖海林;裴雷洪;俞玮;王志良 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | F27D9/00 | 分类号： | F27D9/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种冷却系统，用于热退火炉管的冷却，包括设置在所述热退火炉管的工艺气体入端一侧并依次顺序连接的冷却气体进端、第一调节阀和第一鼓风机；以及设置在所述热退火炉管的反应后高温气体出端一侧并依次顺序连接的热交换器、第二鼓风机、第二调节阀和反应后气体出端。一种具有该冷却系统的热退火炉管进一步包括加热器和工艺腔室。所述热退火炉管进一步包括冷却介质传输装置。本发明所述热退火炉管与所述冷却系统通过所述冷却介质传输装置连接，并利用冷却系统提供的冷却气体对所述热退火炉管的加热器和工艺腔室进行冷却，同时对所述反应后的高温气体进行冷却，不仅提升所述热退火炉管降温速率，而且显著提升设备可利用时间。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却系统 系统 退火 炉管 冷却 方法 | ||
【主权项】：
一种冷却系统，用于热退火炉管的冷却，其特征在于，所述冷却系统包括设置在所述热退火炉管的工艺气体入端一侧并依次顺序连接的冷却气体进端、第一调节阀和第一鼓风机；以及设置在所述热退火炉管的反应后高温气体出端一侧并依次顺序连接的热交换器、第二鼓风机、第二调节阀和反应后气体出端。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司，未经上海华力微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210138202.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
