[发明专利]压电驱动器及其制作方法无效
申请号: | 201210139024.6 | 申请日: | 2012-05-07 |
公开(公告)号: | CN102664233A | 公开(公告)日: | 2012-09-12 |
发明(设计)人: | 董蜀湘;陈建国 | 申请(专利权)人: | 北京大学 |
主分类号: | H01L41/09 | 分类号: | H01L41/09;H01L41/22 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 刘芳 |
地址: | 100871*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种压电驱动器及其制作方法。该压电驱动器包括圆环形结构的压电板,所述压电板的上表面设置有上电极,所述压电板的下表面设置有下电极,且所述压电板沿径向方向极化。本发明实施例提供的压电驱动器采用单个圆环形结构的压电板,结构简单,制作方便,可适用于高低温等苛刻环境下的工作需要。 | ||
搜索关键词: | 压电 驱动器 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种压电驱动器,其特征在于,包括:圆环形结构的压电板,所述压电板的上表面设置有上电极,所述压电板的下表面设置有下电极,且所述压电板沿径向方向极化。
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