[发明专利]微型固态化学推进器的制备方法

摘要

本发明涉及一种微型推进器的制作方法，属于微机电系统制造领域。该方法综合利用了金属铝薄膜工艺和金属剥离工艺，首先在硅片表面溅射金属铝，光刻，以铝为掩模DRIE得到燃烧室和喷嘴；再在玻璃片表面通过剥离工艺得到点火器，再通过剥离工艺得到铜导线以及铜焊盘。本发明的有益效果是：利用普通光刻胶和金属铝膜在硅片表面得到具有较深的燃烧室和喷嘴结构，避免了厚胶的使用，利用金属剥离工艺得到点火电路，避免了金属湿法腐蚀过程中刻蚀剂的安全问题以及腐蚀速率不可控的问题，降低了工艺难度，确保制作过程顺利进行。

主权项

微型固态化学推进器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：第一步，对普通硅片（1）进行清洗；再在硅表面涂光刻胶（2）、光刻、显影、ICP刻蚀得到下导线槽（16）和上导线槽（3）；第二步，去除光刻胶，清洗硅片表面，溅射金属铝（4）再在铝表面旋涂光刻胶，光刻，显影，利用湿法腐蚀除去曝光区域的铝膜，接着DRIE同时得到燃烧室（5）和喷嘴（15）；第三步，去除剩余的铝膜，干法氧化硅片，采用氢氟酸溶液清洗氧化膜，得到光洁的燃烧室（5）和喷嘴（15）；第四步，清洗玻璃片（7），在玻璃片表面涂光刻胶（2）、光刻、显影得到点火器（18）、上点火导线（10）、下点火导线（11）、上焊盘（12）和下焊盘（13）的图形，在涂有光刻胶的玻璃片表面溅射金属（8）；第五步，剥离光刻胶，得到点火器（18），在金属膜（8）的玻璃片上涂光刻胶（2）、光刻、显影得到点火导线区和焊盘区的图形，在涂有光刻胶（2）的玻璃片（7）表面溅射金属薄膜（9），再去除光刻胶，得到金属导线以及金属焊盘；第六步，将具有燃烧室和喷嘴结构的硅片和具有点火电路的玻璃片利用键合工艺连接，得到微型固态化学推进器。