[发明专利]摇动质量块压电双轴微陀螺有效
| 申请号： | 201210139878.4 | 申请日： | 2012-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN102679967A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 张卫平;许仲兴;关冉;张弓;成宇翔;陈文元;吴校生;刘武;崔峰 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机电技术领域的摇动质量块压电双轴微陀螺，它包括一个摇动质量块谐振子，支撑摇动质量块的基板，四个与基板边方向平行且具有间隙的驱动电极，四个与基板边方向平行检测电极。本发明利用摇动质量块谐振子的特殊振动模态，采用逆压电效应驱动，通过检测压电电极上的电压变化来检测两个基板面内方向的角速度，最后通过外围调解处理电路，得到基板面内两个方向的输入角速度。本发明采用MEMS微细加工工艺，结构简单，能实现双轴检测，加工工艺易于实现，可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 摇动 质量 压电 双轴微 陀螺 | ||
【主权项】：
一种压电驱动压电检测双轴微陀螺仪，其特征在于包括：一个具有摇动质量块的谐振子，通过基板支撑；四个与基板边平行的驱动电极；以及四个与基板边平行的检测电极；所述摇动质量块的材料为金属，基板的材料为PZT压电材料。
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