[发明专利]磁力显微镜用悬臂及其制造方法无效
| 申请号： | 201210140453.5 | 申请日： | 2012-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN102778589A | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 张开锋;广濑丈师;渡边正浩;松井哲也;中込恒夫;德富照明 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | G01Q60/54 | 分类号： | G01Q60/54 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;李家浩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供磁力显微镜用悬臂及其制造方法。通过在附加了磁性膜的探针外进一步形成保护膜来制造高耐久性的磁力显微镜用悬臂。在磁力显微镜用悬臂的制造方法中，当在磁力显微镜用悬臂（1）的前端的探针（401）上形成磁性膜（2），在探针（401）的周围形成非磁性硬质保护膜（3）时，从磁力显微镜用悬臂（1）的探针（401）的正面以角度15°-45°来形成非磁性硬质保护膜（3），从磁力显微镜用悬臂（1）的探针（401）的背面在角度15°-30°的范围内从两个方向形成非磁性硬质保护膜（3）。 | ||
| 搜索关键词： | 磁力 显微镜 悬臂 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种磁力显微镜用悬臂，用于磁力显微镜的测定，其特征在于，具备：附加在上述磁力显微镜用悬臂的前端的探针上的磁性膜；以及附加于上述探针的周围的非磁性硬质保护膜。
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