[发明专利]具有上转换功能的氧化锌基透明导电薄膜及其制备方法无效
| 申请号： | 201210141801.0 | 申请日： | 2012-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN102719797A | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 王辉 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06;C09K11/54 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有上转换功能的氧化锌基透明导电薄膜，以ZnO为基体材料，在ZnO基体材料中掺杂Al3+、Yb3+、Er3+、Tm3+元素中的一种、两种或两种以上,控制Zn与所掺杂元素的原子摩尔比为10：1~100：1。该透明导电薄膜的制备方法为：将ZnO与Al2O3、Yb2O3、Er2O3、Tm2O3中的一种、两种或两种以上进行配制并制备溅射用陶瓷靶材，控制Zn与所掺杂金属离子的原子摩尔比为10：1～100：1，在溅射设备中溅射制得ZnO基透明导电薄膜。本发明的有益效果是：本ZnO基透明导电薄膜在可见光区(400~900nm)的平均透过率在75%~98%范围内，其电阻率在8.0×10-3~1.0×10-4Ω·cm范围内，可吸收800nm~1700nm波长的近红外光并发出可见光。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 转换 功能 氧化锌 透明 导电 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种具有上转换功能的氧化锌基透明导电薄膜，其特征是：以ZnO为基体材料，在ZnO基体材料中掺杂Al3+、Yb3+、Er3+、Tm3+元素中的一种、两种或两种以上,控制Zn与所掺杂元素的原子摩尔比为10：1~100：1。
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