[发明专利]有机金属化学汽相沉积的方法与装置

摘要

一种有机金属化学汽相沉积的方法与装置。在有机金属化学汽相沉积的方法中，先提供基板，于此基板的第一表面具有金属基材料层；再将基板放置于腔体内的基座上，且金属基材料层介于基板与基座之间，并对在第一表面的相对侧的第二表面进行有机金属化学汽相沉积制程，其中金属基材料层的热传导系数(thermal conductivity)与基板的热传导系数的差值须在1W/m·°C~20W/m·°C之间，金属基材料层的热膨胀系数(thermal expansion)与基板的热膨胀系数须在同一数量级(order)。

主权项

一种有机金属化学汽相沉积的方法，包括：提供基板，于该基板的第一表面具有金属基材料层；将该基板放置于腔体内的基座上，且该金属基材料层介于该基板与该基座之间；以及对该基板的第二表面进行有机金属化学汽相沉积制程，其中该第二表面位于该第一表面的相对侧，且该金属基材料层的热传导系数与该基板的热传导系数的差值在1W/m·°C~20W/m·°C之间，该金属基材料层的热膨胀系数与该基板的热膨胀系数在同一数量级。