[发明专利]一种节能型多晶硅还原炉的内胆双层结构及其实施方法无效
| 申请号： | 201210142899.1 | 申请日： | 2012-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN102674363A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 王晓静;段连;周阳;黄哲庆;段长春;刘春江 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 王丽 |
| 地址： | 300072 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种节能型多晶硅还原炉的内胆双层结构及其实施方法，多晶硅还原炉内胆包括内壁和外壁两层结构，内壁和外壁之间的空隙与内胆顶部底板与顶板之间的区域相连通；内壁与外壁之间空隙的宽度为5mm-50mm。多晶硅还原炉内胆的内壁与外壁之间通入高纯三氯氢硅液体，由于还原炉内的大量热量辐射到内胆的侧面，液态三氯氢硅受热挥发，挥发产生的气体流入内胆顶部底板与顶板之间的区域。内胆双层结构可以大大降低硅棒向钟罩内壁的辐射能量，钟罩内壁由于温度较低不会沉积硅粉，保持了钟罩内壁的抛光效果，还可以减少多晶硅还原炉钟罩冷却水的通入量。利用了硅棒辐射的能量使部分液态三氯氢硅变为气体参与了反应，有利于多晶硅制备过程中整体能耗的降低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 节能型 多晶 还原 内胆 双层 结构 及其 实施 方法 | ||
【主权项】：
一种节能型多晶硅还原炉的内胆双层结构，其特征是多晶硅还原炉内胆包括内壁（20）和外壁（21）两层结构，内壁（20）和外壁（21）之间的空隙与内胆顶部底板（22）与顶板（23）之间的区域相连通，在内壁（20）和顶部底板（22）连接以及外壁（21）和顶部顶板（23）连接的位置连通，内壁（20）与外壁（21）之间空隙的宽度为5mm‑50mm，底板（22）和顶板（23）的间距为100mm‑300mm。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津大学，未经天津大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210142899.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
