[发明专利]一种基于双线性插值算法的水膜厚度传感器实现方法

摘要

本发明公开一种基于双线性插值算法的水膜厚度检测传感器实现方法，该方法包括以下步骤：步骤a、测量不同温度Tk下不同水膜厚度Hi对应的幅度值Aik和相位值Pik,其中k={1,2,…,n}；i={1,2,…,m}，m代表选取水膜厚度值的个数，水膜厚度Hi值根据水膜厚度测量精度选择；步骤b、测量当前温度T0，对温度分段线性插值，得到当前温度下的幅度值Am0和相位值Pm0，其中T0∈[T1,Tn]。通过本发明的水膜厚度检测传感器的双线性插值算法减少了标定数据的采集量，提高了标定效率，加快了计算速度，改善了测量分辨率，降低了温漂现象，使得水膜厚度检测传感器的性能有了显著提高。

主权项

一种基于双线性插值算法的水膜厚度检测传感器实现方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：步骤a、测量不同温度Tk下不同水膜厚度Hi对应的幅度值Aik和相位值Pik,其中k={1,2,…,n},n代表选取温度值的个数，实际Tk值根据温度测量范围决定；i={1,2,…,m}，m代表选取水膜厚度值的个数，水膜厚度Hi值根据水膜厚度测量精度选择；步骤b、测量当前温度T0，对温度分段线性插值，得到当前温度下的幅度值Am0和相位值Pm0，其中T0∈[T1,Tn]；步骤c、对水膜厚度H分段线性插值，每段插入x个点，x为自然数，得到水膜厚度H下的幅度值A（T0，Hj）和相位值P（T0，Hj）； T0为当前温度， Hj为不同水膜的厚度；步骤d、实时测量得到当前温度T0和水膜厚度H下的幅度值A（T0，H）和相位值P（T0，H），运用最小二乘法查到最合适的二维点，即min={ [A（T0，Hj）‑ A（T0，H）]2+[P（T0，Hj）‑ A（T0，H）]2）}对应的j值,得到此时当前水膜厚度H；水膜厚度H下的幅度值A和相位值P；当前温度T0 ，j代表差值后水膜点个数。